粗微調焦機構、照明系統、工作臺是測量顯微鏡中主要的組成部分
一六六五年左右、胡克通過在顯微鏡中加上一些部件、粗微調焦機構、照明系統
、放置樣品的工作臺、然而這些部件在不停的改進、所以成為了現代測量顯微鏡
中主要的組成部分。一六七三年到一六七七年期間、列文虎克制造成一種由單
個放大鏡的高倍顯微鏡、其中有九臺到現在還保留在、胡克跟列文虎克他們利用
自己所制造的顯微鏡、在研究動物跟植物的微觀結構等方面取到了很大的成就。
十九世紀、因為質量比較好的消色差浸液物鏡的誕生、然而使顯微鏡觀測細微結
構的能力提升了很多。在一八七二年由阿米奇第一個采用了浸液物鏡。十九世紀
七十年代、是德國人阿貝奠定了測量顯微鏡成像的古典理論基礎、這些促進了顯
微鏡制造顯微觀測技術的迅速發展。
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