本文標(biāo)題："怎樣徹底清除表面的粒狀物質(zhì)光學(xué)顯微鏡"

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怎樣徹底清除表面的粒狀物質(zhì)光學(xué)顯微鏡

    由于表面普遍存在粒子污染，所以凈化問(wèn)題急需解決。其原
因是對(duì)電子器件所需潔凈度，以及怎樣徹底清除粒子的技術(shù)了解
甚少，只認(rèn)為這是一般的間題。
    雖然有了高效過(guò)濾器，并在沽凈室的設(shè)計(jì)中得到了應(yīng)用，但
是，要使表面完全沒(méi)有灰塵或其它粒狀物質(zhì)，實(shí)際上這是不可能
的。即使只在層流罩內(nèi)放幾天，在顯微鏡黑色管簡(jiǎn)上也能粉到粒
狀物質(zhì)。同樣，將硅片在標(biāo)準(zhǔn)罩內(nèi)存放一星期，由于選擇性的粒子
污染，硅表面出現(xiàn)了鈉原子。
    清除表面粒子可用兩種方法:用壓縮空氣吹;用水或隋性溶劑
快速?zèng)_洗。清除這種粒狀物質(zhì)的難度，與日常清掃汽車相似。即
使高速行駛，汽車表面的粒狀物質(zhì)也只是小部分被“吹掉”?；蛟S
這種比喻不怎么恰當(dāng)，因?yàn)樵谄嚤砻娉练e了一層趨于增加粘附
力的有機(jī)膜，當(dāng)然在硅片.上也是沉積了一層有機(jī)膜。如果有人想
用軟管的水流(沒(méi)有肥皂的)洗掉汽車上的塵土，那么經(jīng)驗(yàn)說(shuō)明，即
使水流壓力再高也達(dá)不到目的的。
    使顆粒與基片產(chǎn)生所謂粘附的究競(jìng)是些什么力呢?對(duì)引起粘
附的力可以進(jìn)行理論上的探討。

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