本文標題："灰階微透鏡之規格為適用波長在 0.632 μm，直徑為 3mm"
發布者：yiyi ------ 分類: 站內動態 ------ 人瀏覽過 -----時間：2013-3-6 5:58:35
灰階微透鏡之討論
灰階微透鏡之規格為適用波長在 0.632 µm，直徑為 3mm，焦距
為 30cm，蝕刻深度為 1.26µm，聚焦光點大小為 63µm，數值孔徑為
0.005。我們將制作后之灰階微透鏡的量測結果：元件的直徑為 3mm，
蝕刻深度為 1.1mm，蝕刻誤差比為 0.92 代入公式(9)及公式(11)及公
式(14)，我們即可得到理論上經由 RIE 蝕刻有誤差時，所制成的灰
階微透鏡將變成焦距為 33cm 以及聚焦光點為 63µm 及數值孔徑為
0.005。
經由云紋干涉法得知灰階微透鏡的焦距為 31cm﹔我們利用公式
(14)計算出灰階微透鏡之數值孔徑為 0.005 (D= 0.3cm﹔f=31cm)﹔在
利用公式(11)算出灰階微透鏡之聚焦光點為 63µm(NA=0.005)。
由于此量測結果是利用長焦距云紋干涉法(如圖 4-10)，在長焦
距之微透鏡所移動的距離(2.75cm)比短焦距云紋干涉法(如圖 4-11)所
量測短焦距之微透鏡所移動的距離(75µm)長，而短焦距之微透鏡的
移動距離內所變化之干涉條紋數目較不明確，所以此方法所量測長
焦距的微透鏡之精準度比短焦距的微透鏡之精準度高，其精確度約
為±0.6cm
后一篇文章：聚焦光點大小為 7.0μm，數值孔徑為 0.05 »
前一篇文章：« 長、短焦距皆可量測。缺點是元件的尺寸太小
tags:技術,生物顯微鏡,精密儀器,
灰階微透鏡之規格為適用波長在 0.632 μm，直徑為 3mm,熒光顯微鏡現貨供應
本頁地址：http://www.klasswall.cn/wz/522.html轉載注明
本站地址：http://www.klasswall.cn/
http://www.xianweijing.org/
資訊中心：
延伸閱讀
- 長、短焦距皆可量測。缺點是元件的尺寸太小(2013-3-5 22:57:57)
- 空白濾紙中鏡檢 100 個視野發現纖維數-實驗顯微鏡(2013-3-5 5:48:52)
- 集中了透射和掃描電鏡的功能為分析電子顯微鏡的特點(2013-3-2 17:51:15)
- 微結構測量工具顯微鏡偵測樣品表面的機械動態(2013-3-2 5:50:44)