本文標題："聚焦光點大小為 7.0μm，數值孔徑為 0.05"
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八階微透鏡之討論
在第二章我們所設計的八階微透鏡之規格為適用波長在 0.632
µm，直徑為 72.4µm，焦距為 800µm，蝕刻深度為 1.26µm，
聚焦光點大小為 7.0µm，數值孔徑為 0.05
我們將制作后之八階微透鏡的
量測結果：元件的直徑為 72.4µm，蝕刻深度為 1µm，蝕刻誤差比為
0.77 代入公式(9)及公式(11)以及公式(14)，我們即可得到第二章的理
論部分經由 RIE 蝕刻有誤差時，所制成的八階微透鏡將變成焦距為
1040µm 以及聚焦光點為 9µm 及數值孔徑為 0.03。
經由云紋干涉法計算的干涉條紋的結果代入公式(12)，得知八階
微透鏡的焦距為 750µm﹔但由于透鏡圖形的單位條紋數不夠多，所
以焦距的量測結果誤差范圍也會變大從 620µm∼1100 µm。我們可利
用公式(14)計算出八階微透鏡之數值孔徑為 0.03(D= 72.4 µm﹔
f=1100µm)∼0.06(D=72.4µm﹔f=620µm)。在利用公式(11)算出八階微
透鏡之聚焦光點為 5µm(NA= 0.06)~11µm(NA=0.03)
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聚焦光點大小為 7.0μm，數值孔徑為 0.05,熒光顯微鏡現貨供應
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