本文標(biāo)題："切割黃銅進(jìn)料方向粗糙度達(dá)1.5mm-粗糙度測量顯微鏡"
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長32mm、寬25mm、高30.5mm之精微車床，重量僅100g ，包含有摩擦驅(qū)動線環(huán)系統(tǒng)，
主要軸器具由微形馬達(dá)及刀架驅(qū)動，使用修正線環(huán)形態(tài)之精微滑塊。滑塊受摩擦導(dǎo)引及支撐，
定位解析度25nm，利用驅(qū)動圖案佳化，雖有逐步進(jìn)料動作，
平滑進(jìn)料可達(dá)400mm/s，主軸馬達(dá)額定動力僅為1.5Watt，旋轉(zhuǎn)速度可達(dá)10,000rpm。
精微車床于進(jìn)料方向可切割黃銅，進(jìn)料方向粗糙度達(dá)1.5mm。
機器包含X-Y階段及Z軸驅(qū)動單元支撐心軸單元，Z軸驅(qū)動單元使用中空驅(qū)動螺旋，利用直接驅(qū)動交流(AC)馬達(dá)驅(qū)動，
心軸與驅(qū)動螺旋于線上配置，直徑27nm之心軸額定率80Watt，
可提供大轉(zhuǎn)速300,000rpm，心軸末端支撐一直接加工1mm筒夾之銑削工具。高心軸旋轉(zhuǎn)、
高進(jìn)料速率及小切割深度可降低加工力，利用全面密閉環(huán)路數(shù)位伺服系統(tǒng)可控制移動，
得到解析度50nm之線性規(guī)模回饋訊號。
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